Технические характеристики SEM 150:

Разрешение; 5 нм (30 кВ, изображение SE) Увеличение; 30x ~ 150,000x Ускоряющее напряжение; от 1 кВ до 30 кВ (1 кВ/5 кВ/10 кВ/15 кВ/20 кВ/30 кВ) Обнаружение сигнала; (SEI)-Изображение вторичных электронов (BSEI)-Изображение с обратным рассеянием электронов (опция) Режим наблюдения; Стандартный режим Электронная пушка Тип нити накала; Предварительно центрированный картридж с вольфрамовой нитью накала Система напряжения смещения; Автоматический режим Настройка электронной пушки; Ручной режим Система линз Фокусирующая линза; 2-ступенчатая электромагнитная конденсаторная линза Объективная линза; 1-ступенчатая электромагнитная линза объектива Тип; Детектора SE/BSE Система ступеней 5-осевая система перемещения; Ступени: Оси X, Y:40 мм / ось R: 360 °, Z: 0 ~ 35 мм / Ось наклона: 0 ~ 45 ° Сдвиг изображения; Сдвиг изображения X, Y Сдвиг изображения (±150 мкм) Максимальный размер выборки; 80 мм в диаметре, 35 мм в высоту Система сканирования изображений; Быстрое сканирование: 320x240 Медленное сканирование: 640x480 Режим фотосъемки 1: 1280x960 Режим фотосъемки 2: 2560x1920 Режим фотосъемки 3: 5120x3840 Формат изображения; BMP, JPEG,PNG, TIFF Отображение данных; Увеличение, Тип детектора, Ускоряющее напряжение, Режим вакуума, Логотип (Текст), Дата и время, текстовый маркер, шкала. Вакуумная система; Режим высокого вакуума Роторный насос /100 л/ мин Турбомолекулярный насос / 70 л/сек. Время простоя насоса: менее 3 минут Объем; Основного блока -460 (Ш) × 600 (Г) × 950 (В) мм - 1 комплект Внешний вакуумный насос)-400 (Ш) × 160 (Г) × 340 (В) мм - 1 комплект Вес; 105 кг Окружающая среда с оборудованием ;Температура: 15℃ ~30℃ Влажность: 70% или менее Источник питания: Однофазный 220 В переменного тока, 1 кВт, 50/60 Гц